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LED芯片清洗机,苏州晶淼半导体设备有限公司

收藏 2020-05-06
  • 江苏省苏州市
  • 半导体晶圆;芯片清洗机;
  • 详细信息
  • LED芯片清洗机

    1.清洗对象:LED芯片,LED晶片

    2.清洗规格:2-4英寸   4-2篮/批; 6-8英寸   2-1篮/批

    3.工艺说明:手动方式实现放件取件,槽体间传送件。

    4.设备形式: 室内放置型。

    5.腐蚀工艺自动补药液保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性;

    6.工艺参数(温度,时间,DIW水清洗模式、时间可调)手动由触摸屏界面可设定;

    7.机台前方为清洗工作区域,机台后上方为电器和气路布置区域,后下方为液路布置区域。

    8.DI槽配有在线式水质检测装置;

    9.配有分体式废液回收系统;

    10.药液供给及补液方式: 分体式CDS自动供液系统



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